| 型号 | 单位 | RBZK-150XY | RBZK-250XY | RBZK-300XY | ||||
| 运动轴 | 轴系 | X | Y | X | Y | X | Y | |
| 行程 | mm | 150 x 150 | 250 x 250 | 300 x300 | ||||
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | |||
| 标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | |||||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.25 | |||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.7 | ±0.7 | ±1 | |||
| 标准值 | ±1 | ±1.5 | ±2.5 | |||||
| 平面度 | Plus | μm | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | |||
| 标准值 | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | |||||
| Pitch Roll Yaw |
Plus | arc sec | ±3 | ±5 | ±5 | |||
| 标准值 | ±4 | ±6 | ±7 | |||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||||
| 最大速度(空载) | m/s | 1 | ||||||
| 最大加速度(空载) | m/s² | 5，（10, 20定制） | ||||||
| 最大负载 | kg | 20 | 30 | 50 | ||||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | RBZK | -300XY | -PLUS | -N | -1 | -0 | -N | -C2 | -3 | -N |
| 描述 | 中空精密运动台 | X轴行程300mm； Y轴行程300mm； | PLUS高精度版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 电机正常冷却 | 无尘拖链 | 线缆长度3米 | 常压环境 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 多轴线轨运动台 | RBZK | 中空精密运动台 |
| 行程 | -150XY | X轴行程150mm；Y轴行程150mm |
| -250XY | X轴行程250mm；Y轴行程250mm | |
| -300XY | X轴行程300mm；Y轴行程300mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置 |
| 线缆管理 | -C2 | 无尘拖链 |
| -C3 | 坦克拖链 | |
| -C4 | 真空线缆 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 气压环境 | -N | 常压环境（标配） |
| -VC | 真空环境 |
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