精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFHDS系列平面式气浮运动台，采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能，用于晶圆加工及检测、大尺寸飞秒激光加工、测试测量等行业。

结构优势

QFHDS系列龙门平面气浮采用瑞邦精控独创技术，小孔节流和多孔气浮相结合的方式，极大提高系统的刚度和稳定性。平面式气浮结构，使XY轴运动结构共面，反馈传感器在同一个水平面，相当于单轴运动，减小因叠层引起的阿贝误差。此结构具有高速响应频率及位置稳定性，开发的独特气浮结构，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现高速运动和快速的位置整定。

精度性能

采用无铁芯直线电机驱动，交叉解耦控制算法保证双驱轴的运动同步，气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动，重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec满足超精密加工或测量，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。

线缆管理

使用高质量的无尘线缆，优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，更适合在洁净车间内使用。

定制化

根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。气浮导轨可定制陶瓷材质，重复定位精度±15nm。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升精度性能。可提供抱闸功能，适合高抖动要求的应用。

规格参数

型号		单位	QFHDS-300-300		QFHDS-500-500		QFHDS-800-800
运动轴		轴系	X	Y	X	Y	X	Y
行程		mm	300	300	500	500	800	800
补偿后定位精度	Plus	μm	±0.1		±0.25		±0.25
	标准值		±0.2		±0.5		±0.5
双向重复定位精度	Plus	μm	±0.05		±0.075		±0.1
	标准值		±0.1		±0.15		±0.15
直线度	Plus	μm	±0.05		±0.1		±0.2
	标准值		±0.5		±1		±1
平面度	Plus	μm	±0.2		±0.25		±0.3
	标准值		±0.5		±1		±1
Pitch Roll Yaw	Plus	arc sec	±0.5		±1		±1
	标准值		±1		±1.5		±1.5
正交性	Plus	arc sec	2
	标准值		5
电子分辨率		nm	0.3 或 5（选配）
最大速度 (空载)		m/s	1
最大加速度 (空载)		m/s²	5（10, 20, 30 定制）
最大负载		kg	50

注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据

选型信息

型号	QFHDS	-300-300	-PLUS	- AL	-N	-LS	-0	-C2	-3	-Y	-Y
描述	平面式气浮运动台	X轴行程300mm；Y轴行程300mm	PLUS高精度版	铝合金材质气浮导轨	默认	激光干涉仪反馈	零点在行程中心位置	无尘拖链	线缆长度3米	有压力保护开关	有支撑钢架

名称	型号	描述
多轴气浮运动台	QFHDS	XY轴平面式气浮运动台
行程	-300-300	X轴行程300mm；Y轴行程300mm
	-500-500	X轴行程500mm；Y轴行程500mm
	-800-800	X轴行程800mm；Y轴行程800mm
精度等级	-N	标准值
精度等级	-PLUS	PLUS高精度版
气浮导轨类型	-AL	铝合金材质气浮导轨
	-A	陶瓷材质气浮导轨
	-S	碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率	-N	出厂默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
	-LS	激光干涉仪反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-C1	高柔排线
线缆管理	-C2	无尘拖链
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
压力保护开关	-Y	有压力保护开关（标配）
压力保护开关	-N	无压力保护开关
支撑钢架	-Y	有支撑钢架
支撑钢架	-N	无支撑钢架（标配）