| 型号 | 单位 | RBZ-20SG | RBZ-35SG | RBZ-50SG | |
| 行程 | mm | 20 | 35 | 50 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
| 标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
| 标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 |
| 标准值 | ±3 | ±4 | ±5 | ||
| Pitch Roll | Plus | arc sec | ±2.5 | ±2.5 | ±3.5 |
| 标准值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
| Yaw | Plus | arc sec | ±2 | ±2 | ±3 |
| 标准值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||
| 最大速度 (空载) | mm/s | 10 | 10 | 20 | |
| 最大负载 | kg | 20 | 40 | 60 | |
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | RBZ-SG | -20 | -PLUS | -5 | -DOU | -0 | -DB | -3 | -N |
| 描述 | 平升精密Z轴 | 行程20mm | PLUS高精度版 | 电子分辨率5nm | 增量式双光栅反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头，无线缆管理 | 线缆长度3米 | 常压环境 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 精密Z轴 | RBZ | 平升精密Z轴 |
| 行程 | -20SG | 行程20mm |
| -35SG | 行程35mm | |
| -50SG | 行程50mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -DOU | 增量式双光栅反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -U | 零点在行程上极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -D | 零点在行程下极限位置 | |
| 线缆管理 | -DB | DB接头，无线缆管理（标配） |
| -C4 | 真空线缆 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 气压环境 | -N | 常压环境（标配） |
| -VC | 真空环境 |
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