| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| X轴 （龙门轴） |
行程 | mm | 800 | 800 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
| 单向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
| 直线度 | μm | ±4 | ±0.55 | |
| 平面度 | μm | ±3 | ±0.85 | |
| Pitch | arc sec | ±5 | ±1.95 | |
| Yaw | arc sec | ±4.5 | ±1.4 | |
| 微动步距 | nm | 50 | 50 | |
| 工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
| Y轴 （上轴） |
行程 | mm | 200 | 200 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±1 | ±0.1 | |
| 单向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.05 | |
| 直线度 | μm | ±1 | ±0.65 | |
| 平面度 | μm | ±2 | ±0.95 | |
| Pitch | arc sec | ±5 | ±3.1 | |
| Yaw | arc sec | ±4.5 | ±0.8 | |
| 微动步距 | nm | 50 | 50 | |
| 工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
| Z轴 | 行程 | mm | 12.5 | 12.5 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.1 | |
| 单向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
| 微动步距 | nm | 100 | 100 | |
| 工作速度 | mm/s | 8 | 8 | |
| C轴 | 行程 | ° | 1 | 1 |
| 单向重复定位精度 | ° | ±0.003 | ±0.0007 | |
| 微动步距 | ° | 0.001 | 0.001 | |
| 工作速度 | °/s | 1 | 1 | |
| Epin | 行程 | mm | 15 | 15 |
| 单向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
| 正交 | X-Y | arc sec | 10 | 1 |
| 负载 | 终端 | kg | 3 | 3 |
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