型号 | 单位 | QFL-FH-T-25 | QFL-FH-T-75 | QFL-FH-T-100 | QFL-FH-T-125 | QFL-FH-T-150 | |
行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
标准值 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
标准值 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
标准值 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ±0.4 | ||
平面度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
标准值 | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ||
Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.45 | ±0.5 |
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ||
最大速度 (空载) | mm/s | 50 | 100 | 300 | 300 | 300 | |
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5(选配) | |||||
最大加速度 (空载) | m/s² | 1,(5 定制) | |||||
最大负载 | kg | 15 | |||||
供气压力 | MPa | 0.5±0.05 |
注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。
型号 | QFL-FH-T | -100 | -PLUS | -MA | -N | -T | -0 | -DB | -3 | -N |
描述 | 带防护罩的开式气浮运动台 | 行程100mm | PLUS高精度版 | 大理石材质气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅TTL反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头,无线缆管理 | 线缆长度3米 | 无压力保护开关 |
名称 | 型号 | 描述 |
多轴气浮运动台 | QFL-FH-T | 带防护罩的开式气浮运动台 |
行程 | -25 | 行程25mm |
-75 | 行程75mm | |
-100 | 行程100mm | |
-125 | 行程125mm | |
-150 | 行程150mm | |
精度等级 | -N | 标准值 |
-PLUS | PLUS高精度版 | |
气浮导轨类型 | -MA | 大理石材质气浮导轨 |
-A | 陶瓷材质气浮导轨 | |
-S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
电子分辨率 | -N | 默认 |
-0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
-5 | 电子分辨率5nm | |
反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
-T | 增量式光栅TTL反馈 | |
-ABS | 绝对式光栅反馈 | |
零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
-0 | 零点在行程中心位置(标配) | |
-R | 零点在行程右极限位置 | |
线缆管理 | -DB | DB接头,无线缆管理(标配) |
线缆长度 | -3 | 长度3米(标配) |
-5 | 长度5米 | |
-DZ | 定制 | |
压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关(标配) |
-N | 无压力保护开关 |