| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| X轴 （底轴） |
行程 | mm | 300 | 300 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.6 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.3 | |
| 直线度 | μm | 7 | 1.8 | |
| 工作速度 | mm/s | 200 | 200 | |
| 加速度 | m/s² | 10 | 10 | |
| 微动步距 | nm | 30 | 30 | |
| Y轴 （上轴） |
行程 | mm | 300 | 300 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±1 | ±0.65 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
| 直线度 | μm | 7 | 2 | |
| 工作速度 | mm/s | 200 | 200 | |
| 加速度 | m/s² | 10 | 10 | |
| 微动步距 | nm | 30 | 10 | |
| Z轴 | 行程 | mm | 150 | 150 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.55 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.2 | |
| 工作速度 | mm/s | 200 | 200 | |
| 加速度 | m/s² | 10 | 10 | |
| 负载 | XY | kg | 50 | 50 |
| Z | kg | 70 | 70 |
详细选型信息请联系瑞邦定制咨询~
