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NOTE系列气浮转台
闭式气浮结构
直驱零齿槽效应
定位精度±0.5arc sec
同步轴向跳动误差10nm
精准回零误差
高速度稳定性
解决气浮轴抱死问题
立式或卧式使用
NOTE系列气浮转台
NOTE系列气浮转台
NOTE系列气浮转台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
NOTE系列气浮转台具有高定位、速度稳定性和同步纳米级跳动误差,可立式或卧式使用,出色的跳动误差满足晶圆加工及检测、超精密加工、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成,径向双气路结构设计,使径向有出色的载荷力,安装结构上可选择立式或卧式使用,且能组合AB气浮轴,达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动,无气浮抱死问题。
精度性能
NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差10nm,同步径向跳动误差50nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。
闭环反馈
圆光栅闭环反馈,运用高性能控制系统,分辨率优于0.01arc sec,结构设计上,气浮转台能精准回到零点位置。
定制化
气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用。可定制安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
规格参数
型号 单位 NOTE-50 NOTE-100 NOTE-200
行程 degree 360
台面直径 mm 80 114 148
通孔直径 mm 10 20 40
补偿后定位精度 Plus arc sec ±0.5
标准值 ±1
双向重复定位精度 Plus arc sec ≤0.5
标准值 ≤1
轴向跳动误差 Plus nm 10
标准值 250
径向跳动误差 Plus nm 50
标准值 300
摆角误差 Plus μrad 3
标准值 6
电子分辨率 arc sec <0.01
最大速度(空载) rpm 300, (≥1000 定制)
最大负载 轴向 kg 5 20 45
径向 3 12 27
供气压力 MPa 0.5±0.05
空气消耗量 SL/min 13
自重 kg 0.5 4.5 13
材料 / 航空7075铝合金(表面氧化处理)

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据

NOTE手册用图.jpg

选型信息
型号 NOTE -100 -PLUS -1 -3 -Y
描述 气浮转台 转动台面直径114mm PLUS高精度版 增量式光栅1Vpp反馈 线缆长度3米 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
气浮转台 NOTE 气浮转台
台面 -50 转动台面φ80mm
-100 转动台面φ114mm
-200 转动台面φ148 mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精度版
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
NOTE系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
NOTE-50气浮转台尺寸图
2023-08-18
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NOTE-100气浮转台尺寸图
2023-08-18
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NOTE-200气浮转台尺寸图
2023-08-18
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3D模型
NOTE-50气浮转台 3D模型
2023-08-09
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NOTE-100气浮转台 3D模型
2023-08-09
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NOTE-200气浮转台 3D模型
2023-08-09
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报价/订购
NOTE-50
行程360°,台面直径80mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差250nm,径向跳动误差300nm
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NOTE-50 PLUS
行程360°,台面直径80mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差50nm
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NOTE-100
行程360°,台面直径114mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差250nm,径向跳动误差300nm
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NOTE-100 PLUS
行程360°,台面直径114mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差50nm
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NOTE-200
行程360°,台面直径148mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤1arc sec,轴向跳动误差250nm,径向跳动误差300nm
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NOTE-200 PLUS
行程360°,台面直径148mm,闭式气浮轴承,双向重复定位精度≤0.5arc sec,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差50nm
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