| 型号 | 单位 | RBLM-200XY-50ZSG | RBLM-300XY-100ZSG | RBLM-400XY-150ZSG | |||||||
| 运动轴 | 轴系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
| 行程 | mm | 200 x 200 | 50 | 300 x300 | 100 | 400 x 400 | 150 | ||||
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.5 | ±1 | ±0.5 | ±1 | ±0.75 | ±1.5 | |||
| 标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1 | ±2 | |||||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.4 | ±0.5 | |||
| 标准值 | ±0.5 | ±1 | ±0.5 | ±1 | ±0.5 | ±1 | |||||
| 直线度 | Plus | μm | ±1 | ±1 | ±1.25 | ±1.5 | ±1.75 | ±2 | |||
| 标准值 | ±2.5 | ±1.5 | ±3.5 | ±2.5 | ±4.5 | ±4 | |||||
| 平面度 | Plus | μm | ±1.25 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 | ±2 | |||
| 标准值 | ±2.5 | ±1.5 | ±3.5 | ±2.5 | ±4.5 | ±4 | |||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（XY轴选配） | |||||||||
| 最大速度（空载） | m/s | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | ||||
| 最大加速度（空载） | m/s² | 1, (5, 10定制) | 1 | 1, (5, 10定制) | 1 | 1, (5, 10定制) | 1 | ||||
| 最大负载 | kg | 30 | 15 | 30 | 15 | 30 | 15 | ||||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | RBLM | -200XY-50ZSG | -N | -N | -1 | -0 | -C3 | -3 | -N |
| 描述 | 三轴精密运动台 | X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程50mm | 标准值 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 坦克拖链 | 线缆长度3米 | 无支撑钢架 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 龙门系统 | RBLM | 三轴精密运动台 |
| 行程 | -200XY-50ZSG | X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程50mm |
| -300XY-100ZSG | X轴行程300mm；Y轴行程300mm；Z轴行程100mm | |
| -400XY-150ZSG | X轴行程400mm；Y轴行程400mm；Z轴行程150mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -R | 零点在行程右极限位置 | |
| 线缆管理 | -C2 | 无尘拖链 |
| -C3 | 坦克拖链 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 支撑钢架 | -Y | 有支撑钢架 |
| -N | 无支撑钢架（标配） |
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