| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| X轴 （底轴） |
行程 | mm | 300 | 300 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.35 | ±0.1 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.25 | ±0.1 | |
| 直线度 | μm | ±0.5 | ±0.3 | |
| 平面度 | μm | ±0.5 | ±0.3 | |
| Y轴 （上轴） |
行程 | mm | 200 | 200 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.35 | ±0.2 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.25 | ±0.1 | |
| 直线度 | μm | ±0.5 | ±0.3 | |
| 平面度 | μm | ±0.5 | ±0.35 | |
| Z轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.35 | ±0.35 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.25 | ±0.2 | |
| 直线度 | μm | ±0.5 | ±0.25 | |
| 平面度 | μm | ±0.5 | ±0.4 | |
| C轴 | 行程 | ° | 360 | 360 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±2.5 | ±2.45 | |
| 同步轴向误差 | μm | 0.6 | 0.57 | |
| 同步径向误差 | μm | 0.6 | 0.54 | |
| 转速 | rpm | 1000 | 1000 | |
| 负载 | XY | kg | 20 | 20 |
| ZC | kg | 8 | 8 | |
| 垂直度 | XYZ | arc sec | 2 | 2 |
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