型号 | 单位 | RBN-50XY | RBN-110XY | RBN-150XY | |
行程 | mm | 50 x 50 | 110 x 110 | 150 x 150 | |
补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
标准值 | ±0.25 | ±0.3 | ±0.3 | ||
双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 |
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 | Plus | μm | ±0.25 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
平面度 | Plus | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
Pitch Roll | Plus | arc sec | ±2.5 | ±3 | ±3 |
标准值 | ±5 | ±5 | ±5 | ||
Yaw | Plus | arc sec | ±1 | ±1 | ±1 |
标准值 | ±2.5 | ±2.5 | ±2.5 | ||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5(选配) | |||
最大速度 (空载) | mm/s | 200 | |||
最大加速度 (空载) | m/s² | 1,(5定制) | |||
最大负载 | kg | 20 |
注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。
型号 | RBN | -110XY | -PLUS | -N | -T | -0 | -DB | -3 | -Y | -N | -N |
描述 | 交叉滚柱运动台 | 行程110mm x 110mm | PLUS高精度版 | 默认 | 增量式光栅TTL反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头,无线缆管理 | 线缆长度3米 | 有线缆固定柱 | 常压环境 | 无大理石基座 |
名称 | 型号 | 描述 |
多轴线轨运动台 | RBN | 交叉滚柱运动台 |
行程 | -50XY | X 轴行程50mm;Y轴行程50mm |
-110XY | X 轴行程110mm;Y轴行程110mm | |
-150XY | X轴行程150mm;Y轴行程150mm | |
精度等级 | -N | 标准值 |
-PLUS | PLUS高精度版 | |
电子分辨率 | -N | 默认 |
-0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
-5 | 电子分辨率5nm | |
反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
-T | 增量式光栅TTL反馈 | |
-ABS | 绝对式光栅反馈 | |
零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置 |
线缆管理 | -DB | DB接头,无线缆管理 |
线缆长度 | -3 | 长度3米(标配) |
-5 | 长度5米 | |
-DZ | 定制 | |
线缆固定柱 | -Y | 有线缆固定柱 |
-N | 无线缆固定柱(标配) | |
气压环境 | -N | 常压环境(标配) |
-VC | 真空环境 | |
大理石基座 (1) | -Y | 有大理石基座 |
-N | 无大理石基座(标配) |
注:1. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石基座(-Y)项。