| 型号 | 单位 | RBN-50-50-20SG | RBN-100-100-35SG | RBN-150-150-35SG | RBN-200-200-35SG | |||||
| 行程 | mm | 50 x 50 | 20 | 100 x 100 | 35 | 150 x 150 | 35 | 200 x 200 | 35 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.15 |
| 标准值 | ±0.3 | ±1 | ±0.3 | ±1 | ±0.3 | ±1 | ±0.3 | ±1 | ||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.075 |
| 标准值 | ±0.05 | ±0.5 | ±0.1 | ±0.5 | ±0.1 | ±0.5 | ±0.15 | ±0.5 | ||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
| 标准值 | ±1 | ±3 | ±1 | ±4 | ±1 | ±4 | ±1.5 | ±4 | ||
| 平面度 | Plus | μm | ±0.5 | — | ±0.5 | — | ±0.5 | — | ±0.75 | — |
| 标准值 | ±1 | — | ±1 | — | ±1 | — | ±1.5 | — | ||
| Pitch Roll | Plus | arc sec | ±2.5 | ±2.5 | ±3 | ±2.5 | ±3 | ±2.5 | ±3 | ±2.5 |
| 标准值 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±7 | ±5 | ||
| Yaw | Plus | arc sec | ±1 | ±2 | ±1 | ±2 | ±1 | ±2 | ±2 | ±2 |
| 标准值 | ±2.5 | ±5 | ±2.5 | ±5 | ±2.5 | ±5 | ±5 | ±5 | ||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||||||
| 最大速度 (空载) | mm/s | 100 | 10 | 200 | 10 | 200 | 10 | 200 | 10 | |
| 最大负载 | kg | 10 | ||||||||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | RBN | -50-50-20 | -PLUS | -N | -1 | -0 | -C3 | -3 | -N | -N |
| 描述 | 交叉滚柱运动台 | X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程20mm | PLUS高精度版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 坦克拖链 | 线缆长度3米 | 常压环境 | 无大理石基座 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 多轴线轨运动台 | RBN | 交叉滚柱运动台 |
| 行程 | -50-50-20 | X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程20mm |
| -100-100-35 | X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程35mm | |
| -150-150-35 | X轴行程150mm；Y轴行程150mm；Z轴行程35mm | |
| -200-200-35 | X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程35mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置 |
| 线缆管理 | -DB | DB接头，无线缆管理 |
| -C2 | 无尘拖链 | |
| -C3 | 坦克拖链 | |
| -C4 | 真空线缆 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 气压环境 | -N | 常压环境（标配） |
| -VC | 真空环境 | |
| 大理石基座 (1) | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） |
注：1. 选真空环境下（-VC）使用，禁止选大理石基座（-Y）项。
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