型号 | 单位 | RBZ-QH-50 | RBZ-QH-100 | RBZ-QH-150 | |
行程 | mm | 50 | 100 | 150 | |
补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.35 | ±0.5 | ±1 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.25 | ±0.3 | ±0.4 |
标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
直线度 | Plus | μm | ±1 | ±2 | ±2.5 |
标准值 | ±5 | ±7 | ±9 | ||
Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±3.5 | ±5 | ±7 |
标准值 | ±7 | ±8 | ±9 | ||
最大速度 (空载) | mm/s | 5 | 10 | 10 | |
最大负载 | kg | 60 | 80 | 100 |
注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。
型号 | RBZ-QH | -50 | -PLUS | -DOU | -0 | -DB | -3 | -N |
描述 | 大负载平升Z轴 | 行程50mm | PLUS高精度版 | 增量式双光栅反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头,无线缆管理 | 线缆长度3米 | 常压环境 |
名称 | 型号 | 描述 |
精密Z轴 | RBZ-QH | 大负载平升Z轴 |
行程 | -50 | 行程50mm |
-100 | 行程100mm | |
-150 | 行程150mm | |
精度等级 | -N | 标准值 |
-PLUS | PLUS高精度版 | |
反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
-T | 增量式光栅TTL反馈 | |
-DOU | 增量式双光栅反馈 | |
-ABS | 绝对式光栅反馈 | |
零点位置 | -U | 零点在行程上极限位置 |
-0 | 零点在行程中心位置(标配) | |
-D | 零点在行程下极限位置 | |
线缆管理 | -DB | DB接头,无线缆管理(标配) |
-C4 | 真空线缆 | |
线缆长度 | -3 | 长度3米(标配) |
-5 | 长度5米 | |
-DZ | 定制 | |
气压环境 | -N | 常压环境(标配) |
-VC | 真空环境 |