型号 | 单位 | RBLM-100 | RBLM-200 | RBLM-300 | RBLM-400 | RBLM-500 | RBLM-600 | RBLM-800 | RBLM-1000 | |
行程 | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 800 | 1000 | |
补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ||
双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.75 | ||
直线度 | Plus | μm | ±0.75 | ±1 | ±1.25 | ±1.75 | ±1.75 | ±2.25 | ±2.25 | ±2.75 |
标准值 | ±1.5 | ±2.5 | ±3.5 | ±4.5 | ±5.5 | ±6.5 | ±8 | ±9.5 | ||
平面度 | Plus | μm | ±0.75 | ±1.25 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ±2.5 | ±3.5 |
标准值 | ±1.5 | ±2.5 | ±3.5 | ±4.5 | ±5.5 | ±6.5 | ±8 | ±9.5 | ||
Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ±3 | ±3.5 | ±4 | ±4.5 | ±5 |
标准值 | ±3 | ±4 | ±5 | ±6 | ±7 | ±8 | ±9 | ±10 | ||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5(选配) | ||||||||
最大速度 (空载) | m/s | 1 | ||||||||
最大加速度(空载) | m/s² | 10,(20,30,40) | ||||||||
最大负载 | kg | 30 |
注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。
型号 | RBLM | -100 | -PLUS | -MA | -N | -1 | -0 | -C3 | -3 | -N | -N |
描述 | 单轴精密运动台 | 行程100mm | PLUS高精度版 | 大理石材质机体 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 坦克拖链 | 线缆长度3米 | 常压环境 | 无大理石基座 |
名称 | 型号 | 描述 |
单轴精密运动台 | RBLM | 单轴精密运动台 |
行程 | -100 | 行程100mm |
-200 | 行程200mm | |
-300 | 行程300mm | |
-400 | 行程400mm | |
-500 | 行程500mm | |
-600 | 行程600mm | |
-800 | 行程800mm | |
-900 | 行程900mm | |
-1000 | 行程1000mm | |
精度等级 | -N | 标准值 |
-PLUS | PLUS高精度版 | |
机体类型 (1) | -AL | 铝合金材质机体 |
-MA | 大理石材质机体 | |
电子分辨率 | -N | 默认 |
-0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
-5 | 电子分辨率5nm | |
反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
-T | 增量式光栅TTL反馈 | |
-ABS | 绝对式光栅反馈 | |
零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
-0 | 零点在行程中心位置(标配) | |
-R | 零点在行程右极限位置 | |
线缆管理 | -C2 | 无尘拖链 |
-C3 | 坦克拖链(标配) | |
线缆长度 | -3 | 长度3米(标配) |
-5 | 长度5米 | |
-DZ | 定制 | |
气压环境 (2) | -N | 常压环境(标配) |
-VC | 真空环境 | |
大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
-N | 无大理石基座(标配) |
注:1. 选用大理石材质机体(-MA)项,不需再选大理石基座(-Y)。
2. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石材质机体(-MA)项。