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专利证书
162B207KJKB858FE_高精度龙门运动台
ZL202121868788.X_大负载二维精密气浮平台
ZL202121869713.3_精密气浮直线台
ZL202121869806.6_大负载精密气浮直线平台
ZL202121885599.3_高精度龙门气浮平台
ZL202121924320.8_侧挂垂向运动气浮直线台
ZL202121930837.8_横梁气浮滑台
ZL202122011305.0_一种高精度气浮转台
ZL202122011655.7_超薄开式气浮转台
ZL202122053282.X_六自由度微动平台
ZL202122081947.8_竖直大行程偏摆运动台
ZL202122083834.1_垂直升降运动台
ZL202122119524.0_高精度垂直运动气浮台
ZL202122244551.0_三轴中空精密运动台
ZL202122293356.7_高精度二维运动台