| 型号 | 单位 | RBSG-50 | RBSG-100 | RBSG-200 | RBSG-300 | |
| 行程 | mm | 50 | 100 | 200 | 300 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 |
| 标准值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
| 标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.5 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
| 标准值 | ±1.5 | ±2.5 | ±4 | ±6 | ||
| 平面度 | Plus | μm | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2 |
| 标准值 | ±1.5 | ±2.5 | ±4 | ±6 | ||
| Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ±3 |
| 标准值 | ±2 | ±3 | ±4 | ±6 | ||
| 最大速度(空载) | mm/s | 50 | ||||
| 最大负载 | 水平 | kg | 30 | |||
| 垂直 | 15 | |||||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | RBSG | -100 | -PLUS | -MA | -N | -N | -0 | -C3 | -3 | -N | -N |
| 描述 | 单轴精密运动台 | 行程100mm | PLUS高精度版 | 大理石材质机体 | 默认 | 无，开环控制 | 零点在行程中心位置 | 坦克拖链 | 线缆长度3米 | 常压环境 | 无大理石基座 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 单轴精密运动台 | RBSG | 单轴精密运动台 |
| 行程 | -50 | 行程50mm |
| -100 | 行程100mm | |
| -200 | 行程200mm | |
| -300 | 行程300mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 机体类型 (1) | -AL | 铝合金材质机体 |
| -MA | 大理石材质机体 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -N | 无，开环控制 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -R | 零点在行程右极限位置 | |
| 线缆管理 | -C3 | 坦克拖链（标配） |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 气压环境 (2) | -N | 常压环境（标配） |
| -VC | 真空环境 | |
| 大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） |
注：1. 选用大理石材质机体（-MA）项，不需再选大理石基座（-Y）。
2. 选真空环境下（-VC）使用，禁止选大理石材质机体（-MA）项。
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