| 型号 | 单位 | QFL-100XY-5XX | |||
| 行程 | mm | 100 | 100 | 5 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.1 | |
| 标准值 | ±0.2 | ±0.2 | |||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.05 | |
| 标准值 | ±0.1 | ±0.1 | |||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.05 | — | |
| 标准值 | ±0.25 | ±1.5 | |||
| 平面度 | Plus | μm | ±0.1 | — | |
| 标准值 | ±0.4 | — | |||
| Pitch | Plus | arc sec | ±1 | ±3 | |
| 标准值 | ±4 | ±7.5 | |||
| Roll Yaw | Plus | arc sec | ±0.4 | ±1.5 | |
| 标准值 | ±1 | ±5 | |||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||
| 最大速度(空载) | mm/s | 100 | 50 | ||
| 最大负载 | kg | 3 | |||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | QFL | -100XY-5XX | -PLUS | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
| 描述 | 开式气浮运动台 | X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程5mm | PLUS高精度版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 | 有压力保护开关 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 多轴气浮运动台 | QFL | 开式气浮运动台 |
| 行程 | -100XY-5XX | XY轴行程100mm x 100mm，Z轴行程5mm |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置 |
| 线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -10 | 定制 | |
| 大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） | |
| 压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关（标配） |
| -N | 无压力保护开关 |
