型号 | 单位 | QFU-100 | QFU-200 | QFU-300 | QFU-400 | QFU-500 | QFU-600 | QFU-700 | QFU-800 | QFU-900 | QFU-1000 | |
行程 | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | |
补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ||
直线度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.45 | ±0.45 | ±0.45 | ±0.5 | ±0.5 |
标准值 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||
平面度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.65 | ±0.7 | ±1 | ±1 |
标准值 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ||
Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±0.25 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.8 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 |
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ±3 | ±3 | ±4 | ±4.5 | ±5 | ||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5(选配) | ||||||||||
最大速度 (空载) | m/s | 1 | ||||||||||
最大加速度 (空载) | m/s² | 5,(10, 20 定制) | ||||||||||
最大负载 | kg | 20 | ||||||||||
供气压力 | MPa | 0.5±0.05 |
注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。
型号 | QFU | -300 | -PLUS | -AL | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
描述 | 闭式气浮运动台 | 行程300mm | PLUS高精度版 | 铝合金气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 | 有压力保护开关 |
名称 | 型号 | 描述 |
单轴气浮运动台 | QFU | 闭式气浮运动台 |
行程 | -100 | 行程100mm |
-200 | 行程200mm | |
-300 | 行程300mm | |
-400 | 行程400mm | |
-500 | 行程500mm | |
-600 | 行程600mm | |
-700 | 行程700mm | |
-800 | 行程800mm | |
-900 | 行程900mm | |
-1000 | 行程1000mm | |
精度等级 | -N | 标准值 |
-PLUS | PLUS高精度版 | |
气浮导轨类型 | -AL | 铝合金材质气浮导轨 |
-MA | 大理石材质气浮导轨 | |
-A | 陶瓷材质气浮导轨 | |
-S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
电子分辨率 | -N | 默认 |
-0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
-5 | 电子分辨率5nm | |
反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
-T | 增量式光栅TTL反馈 | |
-ABS | 绝对式光栅反馈 | |
零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
-0 | 零点在行程中心位置(标配) | |
-R | 零点在行程右极限位置 | |
线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
-C2 | 无尘拖链 | |
线缆长度 | -3 | 长度3米(标配) |
-5 | 长度5米 | |
-DZ | 定制 | |
大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
-N | 无大理石基座(标配) | |
压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关(标配) |
-N | 无压力保护开关 |