| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| Z轴 | 行程 | mm | 50 | 50 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±1 | ±0.4 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.25 | |
| 微动步距 | μm | 0.8 | 0.8 | |
| 工作速度 | mm/s | 5 | 5 | |
| X轴 | 行程 | mm | 210 | 210 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.05 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
| 直线度 | μm | ±1.5 | ±0.25 | |
| 平面度 | μm | ±1.5 | ±0.85 | |
| 微动步距 | μm | 0.8 | 0.8 | |
| 工作速度 | mm/s | 150 | 150 | |
| Y轴 | 行程 | mm | 210 | 210 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.1 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
| 直线度 | μm | ±1.5 | ±0.25 | |
| 平面度 | μm | ±1.5 | ±0.6 | |
| 微动步距 | μm | 0.8 | 0.8 | |
| 工作速度 | mm/s | 150 | 150 | |
| A轴 | 行程 | ° | ±45 | ±45 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±5 | ±1.6 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.65 | |
| 同步轴向跳动 | μm | 4 | ＜1 | |
| 同步径向跳动 | μm | 4 | ＜1 | |
| 微动步距 | arc sec | 4 | 4 | |
| 工作速度 | °/s | 30 | 30 | |
| B轴 | 行程 | ° | 360 | 360 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±5 | ±1.5 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
| 同步轴向跳动 | μm | 4 | ＜1 | |
| 同步径向跳动 | μm | 4 | ＜1 | |
| 微动步距 | arc sec | 4 | 4 | |
| 工作速度 | °/s | 90 | 90 | |
| 负载 | ZXYAB | kg | 10 | 10 |
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