| 型号 | 单位 | RBN-Z-5XX | |
| 行程 | mm | 5 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.1 |
| 标准值 | ±0.2 | ||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.05 |
| 标准值 | ±0.1 | ||
| 直线度 | Plus | μm | ±1 |
| 标准值 | ±1.5 | ||
| Pitch | Plus | arc sec | ±3 |
| 标准值 | ±7.5 | ||
| Roll Yaw | Plus | arc sec | ±1.5 |
| 标准值 | ±5 | ||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |
| 最大速度 (空载) | mm/s | 50 | |
| 最大负载 | kg | 3 | |
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | RBN-Z | -5 | -N | -N | -1 | -0 | -DB | -3 | -N |
| 描述 | 精密楔形Z轴 | 行程5mm | 标准值 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头，无线缆管理 | 线缆长度3米 | 常压环境 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 精密Z轴 | RBN-Z | 精密楔形机构Z轴 |
| 行程 | -5XX | 行程5mm |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -U | 零点在行程上极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -D | 零点在行程下极限位置 | |
| 线缆管理 | -DB | DB接头，无线缆管理（标配） |
| -C4 | 真空线缆 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 气压环境 | -N | 常压环境（标配） |
| -VAC | 真空环境 |
