| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 测试结果 |
| X轴 | 行程 | mm | 380 | 380 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.1 | |
| 直线度 | μm | ±3 | ±1.45 | |
| Yaw | arc sec | ±15 | ±7.45 | |
| Pitch | arc sec | ±15 | ±2.9 | |
| 工作速度 | mm/s | 100 | 200 | |
| 加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
| 微动步距 | nm | 10 | 10 | |
| Y轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.2 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.1 | |
| 直线度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
| Yaw | arc sec | ±7 | ±5 | |
| Pitch | arc sec | ±7 | ±3 | |
| 工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
| 加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
| 微动步距 | nm | 10 | 10 | |
| 负载 | XY | kg | 15 | 15 |
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