| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| Z 轴 | 行程 | mm | 170 | 170 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.15 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
| 直线度 | μm | 1 | 0.4 | |
| 平面度 | μm | 1 | 0.4 | |
| 最大速度 (空载) | mm/s | 100 | 100 | |
| C 轴 | 行程 | ° | 360 | 360 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±2 | ±1.3 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.45 | |
| 轴向跳动误差 | nm | 200 | 170 | |
| 径向跳动误差 | nm | 200 | 60 | |
| 最大转速 | rpm | 100 | 100 | |
| 微动步距 | arc sec | 30 | 0.5 | |
| ZC | 负载 | kg | 5 | 5 |
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