型号 | 单位 | QFHDS-300-300-50 | QFHDS-400-400-100 | QFHDS-500-500-200 | |||||||
运动轴 | 轴系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 | mm | 300 | 300 | 50 | 400 | 400 | 100 | 500 | 500 | 200 | |
补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.15 | |||
标准值 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | |||||
双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.025 | ±0.075 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.05 | |||
标准值 | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
直线度 | Plus | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.75 | |||
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | |||||
平面度 | Plus | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | |||
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | |||||
Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±2 | ±1 | ±3 | |||
标准值 | ±1 | ±5 | ±1.5 | ±5 | ±1.5 | ±7 | |||||
正交性 | Plus | arc sec | 2 | 5 | 2 | 5 | 2 | 5 | |||
标准值 | 5 | 10 | 5 | 10 | 5 | 10 | |||||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5(选配) | |||||||||
最大速度(空载) | m/s | 1 | 0.1 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | ||||
最大加速度(空载) | m/s² | 5, (10, 20, 30 定制) | 5 | 5, (10, 20, 30 定制) | 5 | 5, (10, 20, 30 定制) | 5 | ||||
最大负载 | kg | 20 | 15 | 20 | 15 | 20 | 15 |
注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。
型号 | QFHDS | -300-300-50 | -PLUS | -AL | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
描述 | 平面式气浮运动台 | X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程50mm | PLUS高精度版 | 铝合金材质气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有压力保护开关 | 有支撑钢架 |
名称 | 型号 | 描述 |
多轴气浮运动台 | QFHDS | 平面式气浮运动台 |
行程 | -300-300-50 | X轴行程300mm;Y轴行程300mm;Z轴行程50mm |
-400-400-100 | X轴行程400mm;Y轴行程400mm;Z轴行程100mm | |
-500-500-150 | X轴行程500mm;Y轴行程500mm;Z轴行程150mm | |
精度等级 | -N | 标准值 |
-PLUS | PLUS高精度版 | |
气浮导轨类型 | -AL | 铝合金材质气浮导轨 |
-A | 陶瓷材质气浮导轨 | |
-S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
电子分辨率 | -N | 默认 |
-0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
-5 | 电子分辨率5nm | |
反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
-T | 增量式光栅TTL反馈 | |
-ABS | 绝对式光栅反馈 | |
-LS | 激光干涉仪反馈 | |
零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
-0 | 零点在行程中心位置(标配) | |
-R | 零点在行程右极限位置 | |
线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
-C2 | 无尘拖链 | |
线缆长度 | -3 | 长度3米(标配) |
-5 | 长度5米 | |
-DZ | 定制 | |
压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关(标配) |
-N | 无压力保护开关 | |
支撑钢架 | -Y | 有支撑钢架 |
-N | 无支撑钢架(标配) |