| 型号 | 单位 | QFL3D-50-50-25 | QFL3D-100-100-25 | QFL3D-150-150-25 | |||||||
| 运动轴 | 轴系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
| 行程 | mm | 50 | 50 | 25 | 100 | 100 | 25 | 150 | 150 | 25 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||||||
| 标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||||||||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ||||||
| 标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||||||||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | ||||||
| 标准值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ||||||||
| 平面度 | Plus | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ||||||
| 标准值 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | ||||||||
| Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | ||||||
| 标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||||||
| 最大速度 (空载) | mm/s | 200 | |||||||||
| 最大加速度 (空载) | m/s² | 1, (5定制) | |||||||||
| 最大负载 | kg | 5 | |||||||||
| 供气压力 | Mpa | 0.5±0.05 | |||||||||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | QFL3D | -100-100-25 | -PLUS | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
| 描述 | 三轴气浮运动台 | X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程25mm | PLUS高精度版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 零点在行程中心位置 | 高柔排线 | 线缆长度3米 | 有大理石基座 | 有压力保护开关 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 气浮运动台 | QFL3D | 三轴气浮运动台 |
| 行程 | -50-50-25 | X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程25mm |
| -100-100-25 | X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程25mm | |
| -150-150-25 | X轴行程150mm；Y轴行程150mm；Z轴行程25mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -0 | 零点在行程中心位置 |
| 线缆管理 | -C1 | 高柔排线 |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） | |
| 压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关（标配） |
| -N | 无压力保护开关 |
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