| 型号 | 单位 | QFL-FH-25 | QFL-FH-75 | QFL-FH-100 | QFL-FH-125 | QFL-FH-150 | |
| 行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
| 标准值 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
| 标准值 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
| 标准值 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ±0.4 | ||
| 平面度 | Plus | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
| 标准值 | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ||
| Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.45 | ±0.5 |
| 标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ||
| 最大速度 (空载) | mm/s | 50 | 100 | 300 | 300 | 300 | |
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
| 最大加速度 (空载) | m/s² | 1，（≥5 定制） | |||||
| 最大负载 | kg | 15 | |||||
| 供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |||||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | QFL-FH | -100 | -PLUS | -MA | -N | -T | -0 | -DB | -3 | -N | -N |
| 描述 | 带防护罩的开式气浮运动台 | 行程100mm | PLUS高精度版 | 大理石材质气浮导轨 | 默认 | 增量式光栅TTL反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头 | 线缆长度3米 | 无大理石基座 | 无压力保护开关 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 单轴气浮运动台 | QFL-FH | 带防护罩的开式气浮运动台 |
| 行程 | -25 | 行程25mm |
| -75 | 行程75mm | |
| -100 | 行程100mm | |
| -125 | 行程125mm | |
| -150 | 行程150mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 气浮导轨类型 | -MA | 大理石材质气浮导轨 |
| -A | 陶瓷材质气浮导轨 | |
| -S | 碳化硅材质气浮导轨 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -L | 零点在行程左极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -R | 零点在行程右极限位置 | |
| 线缆管理 | -DB | DB接头，无线缆管理（标配） |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） | |
| 压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关（标配） |
| -N | 无压力保护开关 |
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