| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| X轴 | 行程 | mm | 160 | 160 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.05 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.25 | ±0.1 | |
| 直线度 | μm | ±2 | ±0.2 | |
| 平面度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
| Yaw | arc sec | ±5 | ±1.45 | |
| Pitch | arc sec | ±7.5 | ±1.95 | |
| Roll | arc sec | ±7.5 | ±1.3 | |
| 工作速度 | mm/s | 200 | 200 | |
| 跟随误差（0.5mm/s） | nm | 100 | 83 | |
| Z轴 | 行程 | mm | 50 | 50 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.2 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.05 | ±0.05 | |
| 直线度 | μm | ±1.5 | ±0.05 | |
| 平面度 | μm | ±1.5 | ±0.1 | |
| Yaw | arc sec | ±5 | ±1.15 | |
| Pitch | arc sec | ±6 | ±2.6 | |
| Roll | arc sec | ±6 | ±0.95 | |
| 工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
| 跟随误差（0.5mm/s） | nm | 200 | 175 | |
| C轴 | 行程 | ° | 360 | 360 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±3 | ±0.8 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±0.75 | ±0.2 | |
| 同步轴向跳动 | nm | 100 | 60 | |
| 同步径向跳动 | nm | 200 | 90 | |
| 摆角误差 | arc sec | ±0.6 | ±0.2 | |
| 工作转速 | rpm | 5 | 5 | |
| 负载 | XZ | kg | 5 | 5 |
| C | kg | 40 | 40 | |
| 其它 | X-Z垂直度 | μm | 4 | 4 |
| X-C平行度 | μm | 4.5 | 3 |
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