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定位纹波
定位纹波也称“定位抖动”、“稳态误差”、“在位稳定性”，是指位移台在实现精密定位指令时，实际位置与目标位置之间的动态波动或振动导致的偏差。通常是位移台在静态停止过程中，因产品结构、控制算法或外部干扰等因素导致的位置误差。
速度均匀性
速度均匀性是指位移台在恒定指令速度下运行时，实际速度与目标速度的偏差程度，是运动过程中速度变化的稳定性，通常以速度波动率或相对误差来衡量。这一指标直接影响了位移台的动态性能，在高精度应用中尤其重要。
跟随误差
跟踪误差是指在位移台运动过程中，从开始运动到实际位置的时间段内的位置命令与实际位置的差值。
机座安装面
机座对直线平台的性能起着重要的作用。通常要求机座的表面必须保证局部平面度＜5µm，将工作台安装在平面度差的机器底座上，会使工作台变形，变形会导致Pitch，Roll，Yaw，平面度和直线度的误差大于所列的精度指标。
正交性
为了精确沿X轴和Y轴运动，Y轴运动线必须与X轴运动线垂直正交。如果两条运动线不正交，Y轴将在X方向上产生位置误差，误差的最大值可以通过行程角误差的sin值来确定。
反向间隙
反向间隙是由于在行程移动方向的反转引起的位置误差。反向运动是指令运动的一部分，要求在运动方向反转时不会产生位置变化。齿隙是由传动系统中元件之间的间隙引起的，随着间隙的增加，间隙误差也增大，反向间隙影响双向重复性，基于直线电机运动平台是直接驱动的，因此具有零间隙。
迟滞误差
迟滞误差是由运动系统中的弹性力引起的实际位置与测量点的指令位置之间的偏差。迟滞还会影响双向重复性，由迟滞引起的定位精度和重复性精度已包括在精度表中，设备的基座、负载和负载耦合硬件中的弹性力没有考虑在内，也需要确认并最小化获得最佳性能。
阿贝误差
阿贝误差是由导轨的角误差和工作点与驱动机构（滚珠丝杠）或反馈机构（线性编码器）之间的偏移距离引起的位移误差。俯仰是围绕与运动方向垂直的水平面上的旋转角度误差。如果被测量点的位置不在旋转中心，那么俯仰将在XY轴上引起阿贝误差。对于X轴，俯仰将导致在X和Z方向的阿贝误差。对于Y轴，俯仰将导致在Y和Z方向的阿贝误差。这些误差的大小可以通过×偏移距离的sin和1-cos的旋转角度来确定。
