| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| X轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.07 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.15 | ±0.05 | |
| 直线度 | μm | ±1.5 | ±1.1 | |
| 平面度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
| 工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
| Y轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.25 | ±0.04 | |
| 直线度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
| 平面度 | μm | ±4 | ±0.9 | |
| 工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
| A轴 | 行程 | ° | ±90 | ±90 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.15 | |
| 同步轴向跳动 | μm | 0.5 | 0.2 | |
| 同步径向跳动 | μm | 0.5 | 0.3 | |
| 工作转速 | °/s | 40 | 40 | |
| C轴 | 行程 | ° | 360 | 360 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.2 | |
| 同步轴向跳动 | μm | 0.5 | 0.1 | |
| 同步径向跳动 | μm | 0.5 | 0.3 | |
| 工作转速 | °/s | 40 | 40 | |
| Z轴 | 行程 | mm | 150 | 150 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.4 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.06 | |
| 直线度 | μm | ±1 | ±0.05 | |
| 平面度 | μm | ±1 | ±0.35 | |
| 工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
| 负载 | XYAB | kg | 1 | 1 |
| Z | kg | 20 | 20 |
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