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RBN系列精密运动台
紧凑式直驱结构
重复定位精度±75nm
抗蠕动交叉滚柱导轨
直线度和平面度±0.5μm
微动步距≤1nm
可定制真空版本
RBN系列精密运动台
RBN系列精密运动台
RBN系列精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
RBN系列是一款高精度的精密运动台,具有亚微米级精度,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、光存储、测试测量、光纤对准和科研等领域。
结构特点
防蠕动交叉滚柱直线导轨导向,解决因保持架蠕动而长时间运行导致行程变化的问题。交叉滚柱为线线接触,运动平稳,交叉排列,多方向受力稳定。无铁芯直线电机驱动,直驱电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点,RBN系列精密运动台在低速运行时能保持平稳,在高速状态也不会产生振动。
精度性能
非接触式光栅闭环反馈,考虑热膨胀和材料等影响,紧凑结构设计,获得高重复定位精度,重复定位精度±25nm,直线度和平面度可优于±0.5μm,纳米级定位抖动,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤1nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空环境下的版本,真空度10^-7Torr。根据应用可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。
规格参数
型号 单位 RBN-50 RBN-100 RBN-150 RBN-200
行程 mm 50 100 150 200
补偿后定位精度 Plus μm ±0.1 ±0.1 ±0.15 ±0.15
标准值 ±0.3 ±0.3 ±0.3 ±0.3
双向重复定位精度 Plus μm ±0.025 ±0.05 ±0.075 ±0.075
标准值 ±0.05 ±0.1 ±0.1 ±0.15
直线度 Plus μm ±0.25 ±0.35 ±0.5 ±0.5
标准值 ±1 ±1 ±1.5 ±1.5
平面度 Plus μm ±0.5 ±0.5 ±0.75 ±0.75
标准值 ±1 ±1 ±1.5 ±1.5
Pitch Roll Plus arc sec ±1 ±2 ±2.5 ±3
标准值 ±5 ±5 ±5 ±7
Yaw Plus arc sec ±1 ±1 ±1 ±2
标准值 ±2.5 ±2.5 ±2.5 ±5
电子分辨率 nm 0.3 或 5(选配)
最大速度(空载) mm/s 200
最大加速度(空载) m/s² 1, (5定制)
最大负载 kg 15

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBN -100 -PLUS -5 -1 -0 -DB -3 -N -N
描述 交叉滚柱运动台 行程100mm  PLUS高精度版 电子分辨率5nm 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 常压气压 无大理石基座

 

名称 型号 描述
单轴线轨运动台 RBN 交叉滚柱运动台
行程 -50 行程50mm 
-100 行程100mm
-150 行程150mm
-200 行程200mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精度版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制

气压环境 (1)

-N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)

注:1. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石基座(-Y)项。

下载
产品样本
RBN系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
RBN系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
RBN-150单轴线轨运动台 3D模型
2023-11-14
下载
RBN-50单轴线轨运动台 3D模型
2023-12-19
下载
RBN-200单轴线轨运动台 3D模型
2024-03-22
下载
报价/订购
RBN-50
行程50mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBN-50 PLUS
行程50mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
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RBN-100
行程100mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
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RBN-100 PLUS
行程100mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.35μm,平面度±0.5μm
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RBN-150
行程150mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
RBN-150 PLUS
行程150mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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RBN-200
行程200mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBN-200 PLUS
行程200mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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