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气浮运动台使用注意事项
发布时间:2023-07-26

 气浮运动台作为精密设备,分为直线运动和旋转运动,在使用时注意事项:

 

1 机械结构部分:

1.1)直线轴或旋转轴需要安装到一个平面度5μm的平台基座上。

1.2)气浮台的供气气源要是洁净的,无水无油固体颗粒小于0.2μm,压力露点-20℃,三级过滤器定期排水(因地域湿度不同,根据实际情况检查,周/月/季检查),三级过滤器要竖直安装,定期检查是否有油水的情况,如有,打开过滤器底部开关排出。

1.3)直线轴和转台负载台面在3μm以内,先用无水乙醇擦拭干净在安装工件。

1.4)安装的工件平面度3μm以内。

1.5)安装螺钉时,4角固定时要对角线上螺钉,环形固定时要也对角安装,先轻微上力,再逐步加力,参考螺钉紧固力矩标准。

1.6)转台先通气再通电,气压在0.5~0.6Mpa,关机时先断电再断气。

1.7)直线轴与转轴安装,先用无水乙醇擦干净,在安装螺钉,转接板平面度要在3μm以内,安装方法参考1.5。

 

2 电控部分:

2.1)  转台开机的时候先通气再通电,关机时先断电再断气。

2.2)气浮转台上电前,先判断一下气压是否合适,用手轻轻推动气浮轴,轴能很平滑的运动并且阻力很小,那么气浮轴可以上电并上使能使用了;如果推不动或者阻力很大,请勿要使用大的力气强行去推,此时应该去寻找原因或与厂家联系,不可以上电使用。

2.3)参考使用说明书,内含注意事项。

 

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