气浮运动台的测试仪器
气浮直线台：
Renishaw XL80激光干涉仪：气浮直线台的定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Yaw。见下图：
气浮转台：
Renishaw XL80激光干涉仪测试气浮转台的定位精度、重复定位精度。
Tesa测微仪和标准球：气浮转台的轴向跳动误差和径向跳动误差。
气浮运动台的测试方法
在行业的规则里，都是按照数控机床的规范ISO 230-2，GB/T 17421实施的。当然德国VDI，日本JIS等不同国家有不同的标准，总体来说，最终是根据用户的应用作为参考的，在国内用的最多的是ISO和GB标准。
其次关于测量仪器，行业通用默认的是雷尼绍的氦氖激光干涉仪进行测试直线运动平台的精度，根据不同的镜组，对于直线台的定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Roll/Yaw等指标进行测试。
然后我们说下测试环境的温度，温度的变化对测试精度影响也是很重要的，一般我们要求在20℃，当然温差约小越好。我们用精密运动平台做过大量的实验，单从温度角度介绍，设定温度在20℃，当温度变化0.25℃以内，定位精度不会有任何变化，当温度恢复到20℃，定位精度也会恢复，所以我们产品的可靠性很高。
